序号 | 服务名称 | 说明 |
1 | 相变材料沉积工艺开发 | 开发相变材料沉积工艺 |
2 | AlN薄膜沉积和trimming工艺开发 | 开发AlN薄膜沉积和trimming工艺 |
3 | 金属电极沉积+Lift off开发 | 开发金属电极沉积+Lift off工艺 |
4 | 氧硅沉积+刻蚀工艺开发 | 开发氧硅沉积+刻蚀工艺 |
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