项目概况 武汉大学真空互联薄膜器件创新研院研发重大科学装置采购项目的潜在投标人应在阳光招采电子招标投标交易平台(网址:http://www.yangguangzhaocai.com/)获取招标文件,并于2022年12月28日09点00分(北京时间)前提交投标文件。 |
序号 | 货物名称 | 数量 | 预算 | 备注 |
01包 | 分子束外延(MBE)系统 | 1套 | 2400万元 | 国产定制设备 |
微波等离子体化学气相沉积系统(MPCVD) | 1套 | 国产定制设备 | ||
双腔室金属有机化学气相沉积系统(MOCVD) | 1套 | (核心产品)国产定制设备 | ||
真空互联系统及设备接口改造 | 1套 | 国产定制设备 | ||
02包 | 碳化硅薄膜外延(CVD)系统 | 1套 | 850万元 | 国产定制设备 |
03包 | FIB微纳加工系统 | 1套 | 1660万元 | (核心产品)接受进口,定制设备 |
超高真空磁控溅射系统 | 1套 | 接受进口,定制设备 | ||
04包 | 等离子增强原子层沉积(PEALD)系统 | 1套 | 380万元 | 国产定制设备 |
05包 | X射线形貌测试系统 | 1套 | 1170万元 | 接受进口,定制设备 |
06包 | 量子信息技术测试系统 | 1套 | 370万元 | 国产 |
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